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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2014.1
- 수록면
- 132 - 135 (4page)
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열처리 온도 600℃에서 표면의 거칠기가 2.4 nm으로 양호하였지만 650℃ 이상에서는 거칠기가 11.6 nm 이상으로 급격히 상승하는 경향을 나타내었다. 측정전압 -10∼+10 V에서 정전용량은 열처리 온도가 증가함에 따라 증가하였고, 열처리 온도 700℃에서는 정전용량이 0.6 ㎌/㎠ 이상으로 크게 나타남을 알 수 있었다. 또한 열처리 온도 600℃까지는 유전손실이 약 0.02 이하로 아주 양호한 값을 얻을 수 있었다. 인가전압 -5∼+5 V에서 측정된 누설전류 밀도는 열처리 온도가 500℃에서 600℃ 증가할 때는 5.8×10-6 A/㎠에서 4.0×10-6 A/㎠으로 약간 향상되었지만 열처리 온도 700℃에서는 2.6×10-5 A/㎠으로 크게 증가됨을 알 수 있었다.
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