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자료유형
학술대회자료
저자정보
Ang, Woo Boon (TCZ Pte. Ltd.) Rothweiler, Dirk (TCZ LLC) Knowles, David (TCZ LLC)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권2호
발행연도
2007.1
수록면
1,061 - 1,064 (4page)

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Thin Beam Excimer Laser Annealing is investigated as one possible process enabled by the variable concept of Thin Beam LTPS processing. The structure of the resulting p-Si material is analyzed in terms of grain size distribution, scaling with energy density and overlap, as well as average surface roughness. This process provides similar control and latitude as conventional excimer laser annealing, but reduced average surface roughness and the potential to be scaled to significant productivity levels.

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