KrF excimer laser 열처리를 이용하여 만들어진 확산 n+/p 접합에서 2차원적 불순물 분포에 관한 연구

최철종; 한명근; 이성훈; 성태연

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최철종 (광주과학기술원 신소재공학과) 한명근 (광주과학기술원 신소재공학과) 이성훈 (광주과학기술원 신소재공학과) 성태연 (광주과학기술원 신소재공학과)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2001년도 추계 학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 2001.1

수록면: 66 - 66 (1page)

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한명근

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주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

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성태연

소속기관 광주과학기술원 신소재공학과

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

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