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저자정보
Turk, Brandon A. (Coherent, Inc) Herbst, Ludolf (Coherent, GmbH) Simon, Frank (Coherent, GmbH) Paetzel, Rainer (Coherent, GmbH)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권1호
발행연도
2007.1
수록면
12 - 15 (4page)

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Excimer-laser-based crystallization is ideallysuited for forming crystalline Si films on glass substrates for use in active-matrix displays. In this paper, we will report on recent and significant technical advances in light sources and beam delivery systems targeted at enabling ultra-uniform mura-free low-temperature polycrystalline silicon active-matrix backplanes while simultaneously lowering production costs and increasing throughput.

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