LASER Crystallization System for Poly-Si

이호년

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이호년 (삼성종합기술원)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 인포메이션 디스플레이 인포메이션 디스플레이 제7권 제2호

발행연도: 2006.1

수록면: 10 - 13 (4page)

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Active Matrix Flat Panel Display(AM-FPD)의 경쟁력 향상을 위해서 반드시 필요한 고성능, 고생산성 Thin Film Transistor(TFT)를 제작에 사용하는 결정화 방법 중, 산업화에 가장 근접한 레이저 결정화 방법 및 장비에 대해서 기술한다.

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이호년

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논문수 5 이용수 21

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