A new crystallization method using a patterned $CeO_2$ seed layer on the plastic substrate

Shim, Myung-Suk; Kim, Do-Young; Seo, Chang-Ki; Yi, Jun-Sin; Park, Young-Soo

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저자정보: Shim, Myung-Suk (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) Kim, Do-Young (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) Seo, Chang-Ki (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) Yi, Jun-Sin (School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University) Park, Young-Soo (Samsung Advanced Institute of Technology)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2004년도 Asia Display / IMID 04

발행연도: 2004.1

수록면: 1,007 - 1,010 (4page)

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We report crystallization of a-Si using XeCl excimer laser annealing [1] on the plastic substrate. We tried to obtain higher crystallinity as the effect of $CeO_2$ seed layer patterned. Also, we tried to control the direction of crystallization growth of silicon layer for lateral growth as the type of $CeO_2$ pattern. This crystallization method plays an important role in low temperature poly-Si (LTPS) [2] process and flexible display.

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Shim, Myung-Suk

소속기관 New materials Lab.[BK 21 Lab.] School of Information and Computer Engineering, Sungkyunkwan University

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 4 이용수 0

Kim, Do-Young

소속기관 Samsung Advanced Institute of Technology

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논문수 17 이용수 2

Seo, Chang-Ki

소속기관 School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University

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Yi, Jun-Sin

소속기관 School of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan University

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논문수 23 이용수 3

Park, Young-Soo

소속기관 Display Lab, Samsung Advanced Institute of Technology

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 6 이용수 0

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