Challenge to Future Displays: Transparent AM-OLED driven by PEALD grown ZnO TFT

Ko Park, Sang-Hee; Hwang, Chi-Sun; Byun, Chun-Won; Ryu, Min-Ki; Lee, Jeong-Ik; Chu, Hye-Yong; Cho, Kyoung-Ik; Chae, Jang-Youl; Han, Se-Jin

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저자정보: Ko Park, Sang-Hee (Transparent Electronics Team, ETRI) Hwang, Chi-Sun (Transparent Electronics Team, ETRI) Byun, Chun-Won (Transparent Electronics Team, ETRI) Ryu, Min-Ki (Transparent Electronics Team, ETRI) Lee, Jeong-Ik (Transparent Electronics Team, ETRI) Chu, Hye-Yong (Transparent Electronics Team, ETRI) Cho, Kyoung-Ik (Transparent Electronics Team, ETRI) Chae, Jang-Youl (Hanwha Living & Creative Research Center) Han, Se-Jin (Hanwha Living & Creative Research Center)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권2호

발행연도: 2007.1

수록면: 1,249 - 1,252 (4page)

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We have fabricated 3.5” transparent AM-OLED panel driven by PEALD grown ZnO TFT. The performance of ZnO thin film transistor was improved by adapting top gate structure, protection layer for ZnO from photolithography process, optimizing temperature and plasma power of ZnO growth process. The ZnO-TFT has a mobility of $8.9cm^2/V.s$, a subthreshold swing of 0.95V, and an on/off ratio of $10^7$.

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Hwang, Chi-Sun

소속기관 Oxide Electronics Research Team, Electronics Telecommunications Research Institute [ETRI]

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Byun, Chun-Won

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Ryu, Min-Ki

소속기관 Oxide Electronics Research Team, Electronics Telecommunications Research Institute [ETRI]

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Lee, Jeong-Ik

소속기관 OLED Research Team, Electronics and Telecommunications Research Institute [ETRI]

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Chu, Hye-Yong

소속기관 한국전자통신연구원 신소자소재연구부

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Cho, Kyoung-Ik

소속기관 Transparent Display Team, OLED Lighting Team, ETRI

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Chae, Jang-Youl

소속기관 Hanwha Living & Creative Research Center

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Han, Se-Jin

소속기관 Hanwha Living & Creative Research Center

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