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자료유형
학술대회자료
저자정보
Kim, Yong-Hae (IT Convergence & Comonents Lab., ETRI) Moon, Jae-Hyun (IT Convergence & Comonents Lab., ETRI) Chung, Choong-Heui (IT Convergence & Comonents Lab., ETRI) Yun, Sun-Jin (IT Convergence & Comonents Lab., ETRI) Park, Dong-Jin (IT Convergence & Comonents Lab., ETRI) Lim, Jung-Wook (IT Convergence & Comonents Lab., ETRI) Song, Yoon-Ho (IT Convergence & Comonents Lab., ETRI) Lee, Jin-Ho (IT Convergence & Comonents Lab., ETRI)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display
발행연도
2006.1
수록면
1,122 - 1,125 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

3.5 inch QCIF AMOLED Panel with Ultra Low Temperature Polycrystalline Silicon Thin Film Transistor on Plastic Substrate
Kim ,  Yong-Hae ,  Chung 외 12명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2007.01 학술대회자료

2006

Plasma Oxidation Effect on Ultralow Temperature Polycrystalline Silicon TFT on Plastic Substrate
Kim ,  Yong-Hae ,  Moon 외 14명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2006.01 학술대회자료

초록· 키워드

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The TFT performances were enhanced and stabilized by plasma oxidation of the polycrystalline Si surface prior to the plasma enhanced atomic layer deposition of $Al_2O_3$ gate dielectric film. We attribute the improvement to the formation of a high quality oxide interface layer between the gate dielectric film and the poly-Si film. The interface oxide has a predominant effect on the TFT's characteristics, and is regulated by the gap distance between the electrode and the polycrystalline Si surface.

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