Oxidation of Polysilicon Using ECR N2O-Plasma Oxidation and Its Application for Poly-Si TFTs

이진우; 허성희; 이내인; 한철희

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이진우 허성희 이내인 한철희

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 대한전자공학회 학술대회 논문집 (한국반도체 대한전자공학회 학술대회 논문집) 제3권

발행연도: 1996.1

수록면: 195 - 196 (2page)

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