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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 저널정보
- 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.II
- 발행연도
- 2005.1
- 수록면
- 1,480 - 1,483 (4page)
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Transparent thin composite films (TCFs) were deposited on OLED devices by means of RF sputtering method and their passivation-properties were evaluated by comparing to the e-beam evaporating method. This composite film formed by mixed ratio of MgO (3wt %): $SiO_2$ (1wt %) was developed from pallet as a source of e-beam evaporator to 6-inch size target for sputtering in order to apply for large-sized organic display devices. Water Vapor Transmission Rates (WVTR) of the deposited films were measured as a function of thickness to assess the effectiveness of this film as a passivation layer and it applied to real devices. From this study, we can confirm that the passivation layer formed by TCFs using RF sputtering method sufficiently shows the potentiality of application to passivation layer for organic display devices.
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