메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류

추천
검색

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
최정호 (한국기술교육대학교 전기.전자.통신공학과) 노시철 (한국기술교육대학교 전기.전자.통신공학과) 유동열 (한국기술교육대학교 전기.전자.통신공학과) 이진화 (한국기술교육대학교 전기.전자.통신공학과) 김영철 (한국기술교육대학교 에너지.신소재.화학공학부) 서화일 (한국기술교육대학교 전기.전자.통신공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체디스플레이기술학회지 반도체디스플레이기술학회지 제10권 제1호
발행연도
2011.1
수록면
51 - 55 (5page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색

초록· 키워드

오류제보하기
The surface passivation is one of the important methods that can improve the efficiency of solar cells and can be classified into two methods: wet-chemical passivation and film passivation. In this paper, chemical HF treatment were employed for the passivation of n-type silicon wafers and their effects were studied. To investigate film passivation effects, the silicon nitride films were also deposited by PECVD (plasma-enhanced chemical vapor deposition) on n-type silicon wafers treated with chemical HF. The minority carrier lifetime measurements were used for evaluation of the passivation characteristics in the all experiments steps. We confirmed that the minority carrier lifetime was improved with chemical HF treatment due to passivation effects by H-termination.

목차

등록된 정보가 없습니다.

참고문헌 (12)

참고문헌 신청

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0