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저자정보
Bang, Bo-Rae (Division of Materials Science and Engineering, Hanyang University) Koo, Hong-Mo (Division of Materials Science and Engineering, Hanyang University) Moon, Yeon-Keon (Division of Materials Science and Engineering, Hanyang University) Kim, Se-Hyun (Division of Materials Science and Engineering, Hanyang University) Park, Jong-Wan (Division of Materials Science and Engineering, Hanyang University)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.II
발행연도
2005.1
수록면
1,526 - 1,529 (4page)

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Zinc oxide films have been actively investigated as transparent electrode materials for display. We report the effect of the working pressures on electro-optical properties of Al-doped ZnO thin films deposited by d.c. magnetron sputtering. The resistivity of the ZnO thin films was depended on atomic bombardment effect by working pressure.

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