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자료유형
학술저널
저자정보
Moon, Yeon-Keon (Department of Materials Science and Engineering, Hanyang University) Park, Jong-Wan (Department of Materials Science and Engineering, Hanyang University)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제16권 제6호
발행연도
2006.1
수록면
346 - 350 (5page)

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Al-doped ZnO (AZO) thin films were grown on type of glass#1737 substrates by DC magnetron sputtering. The structural, electrical and optical properties of the films were investigated as a function of various plasma discharge power. The obtained films were polycrystalline with a hexagonal wurtzite structure and preferentially oriented in the (002) crystallographic direction. The lowest resistivity was $6.0{\times}10^{-4}{\Omega}cm$ with the carrier concentration of $2.69{\times}10^{20}cm^{-3}$ and Hall mobility of 20.43 $cm^2/Vs$. The average transmittance in the visible range was above 90%.
#transparent electrode #zinc oxide #DC magnetron sputtering #aluminum doping

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