지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 저널정보
- 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.I
- 발행연도
- 2005.1
- 수록면
- 785 - 789 (5page)
이용수
이 논문의 연구 히스토리 (3)
2003
Development of a Low Temperature Doping Technique for Applications in Poly-Si TFT on Plastic Substrates
Hong
,
Wan-Shick
,
Kim
외 1명
Journal of information display
2003.01
학술저널
Development of a Low Temperature Doping Technique for Application in Poly-Si TFT on Plastic Substrates
Hong
,
Wan-Shick
,
Kim
외 1명
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2003.01
학술대회자료
- 이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
- 연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
- 이 논문의 연구 히스토리 확인하기
초록· 키워드
오류제보하기
Low temperature deposition of silicon and silicon nitride films by catalytic CVD technique was studied for application to thin film transistors on plastic substrates for flexible AMOLEDs. The substrate temperature initially held at room temperature, and was controlled successfully below $150^{\circ}C$ during the entire deposition process. Amorphous silicon films having good adhesion, good surface morphology and sufficiently low content of atomic hydrogen were obtained and could be successfully crystallized using excimer laser without a prior dehydrogenation step. $SiN_x$ films showed a good refractive index, a high deposition rate, a moderate breakdown field and a dielectric constant. The Cat-CVD silicon and silicon nitride films can be good candidates for fabricating thin films transistors on plastic substrates to drive active-matrix organic light emitting display.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (0)
참고문헌 신청함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Low temperature plasma deposition of microcrystalline silicon films for bottom gate thin film transistors
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2006 .01
-
Silicon Thin-film Transistors on Flexible Foil Substrates
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2002 .01
-
Silicon Nitride Films Prepared at a Low Temperature (${\leq}200^{\circ}C$) for Gate Dielectric of Flexible Display
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2009 .01
-
Silicon Thin-Film Transistors on Flexible Polymer Foil Substrates
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2008 .01
-
다결정 박막실리콘 태양전지의 연구개발 동향
한국태양에너지학회 학술대회논문집
1997 .11
-
실리콘窒化膜의 氣相成長과 그 電氣的 特性
전기의세계
1979 .09
-
Laser crystallization of Si film for poly-Si thin film transistor on plastic substrates
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2004 .01
-
Characteristics of Poly-Si TFTs Fabricated on Flexible Substrates using Sputter Deposited a-Si Films
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2005 .01
-
Development of a Low Temperature Doping Technique for Applications in Poly-Si TFT on Plastic Substrates
Journal of information display
2003 .01
-
Low temperature plasma deposition of microcrystalline silicon thin films for active matrix displays: opportunities and challenges
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2008 .01
-
High-rate, Low-temperature Deposition of Multifunctional Nano-crystalline Silicon Nitride Films
Journal of information display
2010 .01
-
Low Temperature Atomic Layer Deposition of Silicon Oxide Films Using Silicon Amide Precursors
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
-
Excimer Laser Annealing 결정화 방법 및 고유전게이트 절연막을 사용한 poly-Si TFT의 특성
전기전자재료학회논문지
2008 .01
-
Effect of Substrate Temperature on Polycrystalline Silicon Film Deposited on Al Layer
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2010 .06
-
Threshold Voltage Instability in a-Si:H TFTs and the Implications for Flexible Displays and Circuits
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2008 .01
-
Fabrication of excimer laser annealed poly-Si thin film transistor using polymer substrates
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2006 .01
-
P-Channel Amorphous-Silicon Thin-Film Transistors
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1993 .01
-
Thin Film Transistor (TFT) Pixel Design for AMOLED
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2006 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0