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학술저널
저자정보
이명복 (한국과학기술연구원 이공학연구단) 주병권 (한국과학기술연구원 이공학연구단) 이정일 (한국과학기술연구원 이공학연구단) 김형곤 (한국과학기술연구원 이공학연구단) 오명환 (한국과학기술연구원 이공학연구단) 강광남 (한국과학기술연구원 이공학연구단)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제3권 제1호
발행연도
1993.1
수록면
28 - 32 (5page)

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Si기판상에 Ni 박막 저항체를 형성하여 hot wire anemometer형 흐름측정 소자를 제작하고 이의 특성을 평가하여 보안ㅆ다. 니켈 박박 저항체의 온도계수는 박막의 두께가 얇아짐에 따라 감소하였으며, 제작된 흐름센서의 감ㅁ도는 111.3${\mu}$W/(${\ell}$ pm$)^{1/2}$, 동적인 응답시간은 수 십초 정도로 평가되었다.

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