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대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 1996년도 추계학술대회 논문집
발행연도
1996.11
수록면
242 - 244 (3page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1996

측정저항체 온도센서용 백금 박막의 형성에 관한 연구
노상수 ,  최영규 ,  정귀상 대한전기학회 학술대회 논문집 1996.11 학술대회자료
DC 마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 백금박막을 이용한 측온저항체 온도센서의 제작 ( The Fabrication of RTD Temperature Sensors Using Platinum Thin Film Deposited by DC Mngnetron Sputtering )
노상수 ,  최영규 ,  정귀상 대한전자공학회 학술대회 1996.01 학술대회자료

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목차

Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
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