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자료유형
학술저널
저자정보
안승준 (선문대학교 자연과학대학 신소재과학부) 김대욱 (선문대학교 자연과학대학 신소재과학부) 김호섭 (선문대학교 자연과학대학 신소재과학부) 김영정 (선문대학교 공과대학 재료공학부) 이용산 (대진대학교 이공대학 물리학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제11권 제9호
발행연도
2001.1
수록면
792 - 796 (5page)

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For electron beam lithography and SEM(scanning electron microscopy) applications, miniaturized electrostatic lenses called a microcolumn have been fabricated. In this paper, we report the fabrication technique for 20~30$\mu\textrm{m}$ apertures of electron lenses based on silicon and Mo membrane using an active Q-switched Nd:YAG laser. Experimental conditions of laser micromachining for silicon and Mo membrane are improved. The geometrical structures, such as the diameter and the preciseness of the micron-size aperture are dependent upon the total energy of the laser pulse train, laser pulse width, and the diameter of laser spot.
#microcolumn #electron lens #laser micromachining #active Q-switched Nd:YAG laser #electron beam lithography

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