소형 전자빔 렌즈의 얼라인 오차 특성 분석

강은구 ,  김진석 ,  고용준 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2009 .10

3극 전계방출 전자총의 정전기 렌즈에 의한 전자빔 거동

김충수 ,  김동환 ,  박만진 외 2명

한국생산제조학회지

2007 .12

다중빔 리소그래피를 위한 초소형 컬럼의 전자빔 광학 해석에 관한 연구

이응기

반도체및디스플레이장비학회지

2009 .01

초소형 전자빔 컬럼의 제어기 설계

임선종 ,  최지연

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

Monte Carlo 수치해석법을 이용한 저 에너지 초소형 마이크로칼럼에 사용되는 전자렌즈의 모양에 따른 전자빔 특성 연구

김영철 ,  김호섭 ,  김대욱 외 1명

한국산학기술학회 논문지

2008 .02

전자빔 가공기용 자기 렌즈의 자기장 제어구조 설계

노승국 ,  이찬홍 ,  백영종

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2004 .10

정전기렌즈에 의한 전계방출 전자빔 방출 특성 해석 및 실험

김충수 ,  박만진 ,  양희남 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2008 .06

전계방출 전자총의 전기장렌즈의 해석 및 실험

김충수 ,  김동환 ,  박만진 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2007 .05

소형 전자빔 칼럼내 전자빔 거동 해석

홍성철 ,  인재준 ,  이응기

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2008 .11

소형 전자빔용 정전렌즈 구조에 따른 전자빔 경로 분석

강은구 ,  김진석 ,  최동영 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

주사전자 현미경의 전자렌즈 설계 및 해석

정현우 ,  박만진 ,  박근 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2006 .11

유한요소법을 사용한 주사전자 현미경의 전자렌즈 설계 및 해석에 관한 연구

박근 ,  정현우 ,  박만진 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2007 .09

마이크로 전자빔 시스템을 위한 전자광학렌즈의 제작에 의한 나노 패턴 형성 ( Nano-scale pattern delineation by fabrication of electron-optical lens for micro E-beam system )

이용재 ,  박정영 ,  전국진 외 1명

전자공학회논문지-D

1998 .09

정전력을 이용한 마이크로 펌프

尹龍逵 ,  金容權

전기학회논문지

1994 .12

Focal length에 의한 전자 렌즈의 제어 신호 생성을 위한 하드웨어 설계

임선종 ,  이찬홍

한국생산제조학회지

2007 .10

가변형 마이크로렌즈 시스템 제작 및 특성 평가

남후중 ,  최진호 ,  당중덩 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2009 .11

AC 플라즈마를 이용한 피니싱 공정용 전기장렌즈의 집속특성에 관한 연구

최민식 ,  장동영 ,  정보현 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05

정전력을 이용한 풍력발생 특성 연구

정재승 ,  김진규 ,  이정헌

한국조명·전기설비학회 학술대회논문집

2013 .11

유한요소해석과 광선추적을 연계한 주사전자 현미경 대물렌즈의 설계 및 해석

박근 ,  이재진 ,  박만진 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2009 .11

웨이퍼 렌즈를 이용한 소형전자빔 리소장치 개발

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2011 .04