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학술저널
저자정보
손익부 (광주과학기술원 고등광기술연구소) 최성철 (광주과학기술원 고등광기술연구소) 노영철 (광주과학기술원 고등광기술연구소) 고도경 (광주과학기술원 고등광기술연구소) 이종민 (광주과학기술원 고등광기술연구소)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 한국레이저가공학회지 제9권 제2호
발행연도
2006.1
수록면
11 - 15 (5page)

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2006

스캐너를 이용한 고속 펨토초 레이저 가공 기술
손익부 ,  최성철 ,  노영철 외 2명 한국레이저가공학회지 2006.01 학술저널
스캐너를 이용한 고속 펨토초 레이저 가공 기술
손익부 ,  최성철 ,  노영철 외 2명 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 2006.01 학술대회자료

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We report experimental results on the high-speed micromachining using a femtosecond laser (800 nm, 130 fs, 1kHz) and galvanometer scanner system (Raylase, Germany). Periodic hole drilling of silicon and glass with the scan speed of 1-20 mm/s is demonstrated. Finally, we demonstrate the utility of the femtosecond laser application to ITO patterning by using a high-speed femtosecond laser scanner system.
#Femtosecond laser processing #Micromachining #Galvanometer scanner

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