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저자정보
권귀감 (서울대학교) 김태겸 (서울대학교) 서재민 (서울대학교) 송기영 (숭실대학교) 주종남 (서울대학교) 안성훈 (서울대학교)
저널정보
한국생산제조학회 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2020 한국생산제조학회 춘계학술대회 논문집
발행연도
2020.7
수록면
18 - 18 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2020

레이저 후면 식각공정을 통한 고세장비 유리 미세 홀 가공
권귀감 ,  서재민 ,  송기영 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2020.09 학술대회자료
레이저 후면 식각공정에서 유리 가공을 위한 레이저 조사 경로 생성 방안 연구
권귀감 ,  김태겸 ,  서재민 외 3명 한국생산제조학회 학술발표대회 논문집 2020.07 학술대회자료

2019

레이저 후면 식각공정을 통한 유리 미세포켓 가공에서 무작위로 분포된 레이저 조사 경로의 영향 분석
권귀감 ,  송기영 ,  정형균 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019.10 학술대회자료

2018

레이저 후면 식각공정의 레이저 조사 경로 제어를 통해 경사진 미세 구조물 가공
권귀감 ,  주종남 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018.10 학술대회자료
인산 첨가에 따른 레이저 후면 식각공정 밀링 가공양상 연구
권귀감 ,  김한 ,  김동완 외 2명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2018.05 학술대회자료

2016

근적외선 레이저 후면 식각공정을 활용한 유리 미세 그루브 패턴 가공
권귀감 ,  주종남 ,  김한 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2016.10 학술대회자료

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#Laser micromachining #Glass #Path planning

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