게이트 유전체를 위한 하프늄 산화막의 플라즈마 화학 기상 증착

최규정; 윤순길

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 최규정 (충남대학교) 윤순길 (충남대학교)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2002년도 추계학술발표강연 및 논문개요집

발행연도: 2002.1

수록면: 60 - 60 (1page)

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2002

게이트 유전체를 위한 하프늄 산화막의 플라즈마 화학 기상 증착

최규정 , 윤순길 한국재료학회 학술발표대회 2002.01 학술대회자료

2001

플라즈마 화학기상증착법으로 증착법으로 게이트 유전체용 하프늄 옥사이드의 특성평가

최규정 , 신웅철 , 윤손길 한국재료학회 학술발표대회 2001.01 학술대회자료

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윤순길

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