R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발

김민식 ,  한권덕 ,  최형종 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

Effect of Hydrogen Treatment on Electrical Properties of Hafnium Oxide for Gate Dielectric Application

Kyu-Jeong Choi ,  Woong-Chul Shin ,  Soon-Gil Yoon

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2001 .06

Electrical and Structural Properties of Lanthanum Hafnium Oxide (LHO) Films Deposited by ECR Atomic Layer Deposition

Sang-Kyun Pa ,  k ,  Woong-Sun Kim 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Multi-functional layer coating on nanoparticles via atomic-layer-deposition

홍성환 ,  장은용 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구

최원준 ,  홍경표 ,  최예린 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition

Yong Tae Kim ,  Jaeyeong Heo

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .05

The Properties of ZrO₂ Film Deposition by ALD at Low Temperature

양병찬 ,  신정우 ,  권혁동 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .10

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

Surface Chemistry Modification for Developing Atomic Layer Deposition Process for the 2D Material and Thin Film Deposition on 2D Materials

전우진

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

원자층 증착법으로 형성한 TiN 박막의 특성 연구

이준우 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

MOCVD를 이용하여 증착시킨 Hafnium Oxide 박막의 전기적 특성연구

오재민 ,  김영순 ,  이태호 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Advanced atomic layer deposition of ultrathin metal films

한지원 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

원자층 증착법으로 성장한 HfO 박막의 제조

김희철 ,  김민완 ,  김형수 외 6명

한국재료학회지

2005 .01

Electrical and Optical Properties of Ti-ZnO Films Grown on Glass Substrate by Atomic Layer Deposition

이우재 ,  김태현 ,  권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .06

유기소스 원자층 증착법으로 증착된 TiN 박막의 특성 연구

박진용 ,  김주연 ,  서상원 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

MOS 구조에서의 원자층 증착 방법에 의한 Ta₂O₅ 박막의 전기적 특성에 관한 연구

李炯錫 ,  張珍瑉 ,  林長權 외 4명

전기학회논문지 C

2003 .04

원자층 증착법(Atomic Layer Deposition)에 의해 성장된 단말장치용 ZnO 투명 전도 박막 특성

박현식

정보 및 제어 논문집

2012 .10

원자층 증착 방법에 의한 silicon oxide 박막 특성에 관한 연구

이주현 ,  박종욱 ,  한창희 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01