65 ㎚이하 shallow trench isolation (STI) gap fill 특성향상을 위한 profile 개선 연구

김희대 ,  박창기 ,  이내응

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .10

STI 구조를 갖는 소자의 leakage path 발생 과정에 대한 모델링 연구

서대만 ,  박연식 ,  상재호 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2010 .05

STI(Shallow Trench Isolation) 공정에서 Torn Oxide Defect 해결에 관한 연구

김상용 ,  서용진 ,  김태형 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

1998 .11

STI 기술을 채용한 CMOS well 구조에서의 Latch-up 특성 평가

김인수 ,  김창덕 ,  김종철 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

새로운 TiSi₂ 형성방법과 STI를 이용한 초박막 게이트 산화막의 특성 개선 연구

엄금용 ,  오환술

대한전자공학회 학술대회

2000 .11

STI Network Management Status

Sang Gil Lee

CDMA International Conference and Exhibition

1997 .01

새로운 티타늄 실리사이드 형성공정과 STI를 이용한 서브 0.1㎛ ULSI급 소자의 특성연구

엄금용 ,  오환술

전자공학회논문지-SD

2002 .05

STI 공정, 반도체 소자 분리 기술로 각광

한국전자산업진흥회

전자진흥

2006 .01

Deep sub-micron CMOS의 소자고립을 위한 Shallow Trench 식각공정에 관한 연구

이주훈 ,  김현수 ,  염근영

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

STI-CMP 공정의 질화막 잔존물 및 패드 산화막 손상에 대한 연구

李愚宣 ,  徐龍辰 ,  金相用 외 1명

전기학회논문지 C

2001 .09

0.5㎛ 이하의 CMOS 기술을 위한 공정 및 소자 설계에 관하여 (On the Process and Device Design for Sub-0.5㎛ CMOS Technology )

오춘식

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

A Study on the Electrical Characteristics of Ultra Thin Gate Oxide

Gum-Yong Eom

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2004 .01

STI 타이어 모델을 사용한 차량의 조향특성해석

이종석 ,  백운경

한국동력기계공학회 학술대회 논문집

2001 .11

Speckle Defect by Dark Leakage Current in Nitride Stringer at the Edge of Shallow Trench Isolation for CMOS Image Sensors

정우양 ,  이근만

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2009 .01

THE CHARACTERIZATION OF SHALLOW TRENCH ISOLATION CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION(STI CMP) THROUGH THE ANALYSIS FOR RELATIONSHIP OF BETWEEN PATTERN AND NON-PATTERN WAFER

Kim ,  Yong-Sik ,  Lee 외 7명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

고집적 회로의 트렌치 소자분리를 위한 매립 산화물의 치밀화 연구 ( Densification of the Filled Oxide for VLSI Shallow Trench Isolation ( STI ) )

박태서 ,  이한신 ,  박문한 외 4명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

STI-CMP공정에서 표면특성에 미치는 패턴구조 및 슬러리 종류의 효과

이훈 ,  임대순 ,  이상익

한국트라이볼로지학회 학술대회

2002 .05

Anomalous Subthreshold Characteristics of Shallow Trench-Isolated Submicron NMOSFET with Capped p-TEOS/SiN

Hyung J. Lee

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2002 .01

STI 무선망설계 TOOL

최인성

한국통신학회 심포지움

1998 .01

STI의 무선망 설계 Tool

최인성

대한전자공학회 심포지엄 논문집

1998 .01