Helicon Wave 플라즈마 보조 증발법을 이용한 ZnO 박막의 성장과 특성 평가

박태희 ,  김경보 ,  김기성 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Helicon wave에 의하여 여기된 Ar 플라즈마 특성

김태영 ,  정기형 ,  이승학 외 1명

한국표면공학회지

1994 .12

Al Etch and After-Corrosion Characteristics in a M=0 Helicon Wave Plasma Etcher

Jae Hee Ha ,  M. H. Yim ,  J. J. Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

W Etching for Sub-half Micron using the Helicon High Density Plasma

Seoung Wook Lee ,  Chang Ju Choi ,  Yeo Song Seol 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Helicon 고밀도 플라즈마를 이용한 0.5mm 이하의 텅스텐 식각 공정 연구 ( Helicon High Density Plasma Etching for Sub-Half Micron Tungsten Interconnections )

이승욱 ,  최창주 ,  설여송 외 1명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

C₄F₈/H₂ helicon wave 플라즈마를 이용한 contact 산화막 식각 공정시 과식각된 실리콘 표면의 잔류막과 손상층 형성 및 이의 제거에 관한 연구

김현수 ,  이원정 ,  백종태 외 1명

한국표면공학회지

1998 .04

Epitaxial Growth of GaN by HWP ( Helicon Wave Plasma ) Assisted Metal-Organic CVD ( Chemical Vapor Deposition ) Process

Ki Sung Kim ,  Chan Wook Chun ,  Seon Hyo Kim

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Carbon Nanotube Deposition using Helicon Plasma CVD at Low Temperature

Mu ,  oyama ,  Masakazu 외 10명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2003 .01

On the mechanism of power distribution in multiple ICP and Helicon sources

J.W. Lee ,  Sang-Hyuk An ,  H.Y. Chang

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

헬리콘 플라즈마원의 특성

현준원 ,  노승정 ,  김경례 외 2명

한국표면공학회지

1999 .12

p-형 ZnO 박막의 성장 및 전기적특성에 대한 연구

정민창 ,  문태형 ,  고영돈 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .10

As 확산이 ZnO 박막의 특성에 미치는 효과

윤욱희 ,  명재민 ,  이동희 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

cubic BN:C 박막의 합성 및 밀찰력 증대에 관한 연구

김경보 ,  김기성 ,  김선효

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

ZnO 박막을 이용한 표면탄성과 필터의 특성 ( Fabrication of Surface Acoustic Wave Filter Using ZnO Thin Films )

김영진 ,  최병진 ,  김기완

대한전자공학회 학술대회

1995 .07

헬리콘 플라즈마 원을 이용한 우주 추진체의 특성

최근식 ,  우현종 ,  정규선 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2005 .11

Crystallinity of ZnO Thin Films Prepared by RF Plasma CVD

Kenta ,  o Suzuki ,  Takahi 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

기판 온도가 ZnO 박막의 특성에 미치는 영향

정양희 ,  권오경 ,  강성준

한국정보통신학회논문지

2006 .12

As이 첨가된 ZnO 박막의 특성에 관한 연구

황득규 ,  박규현 ,  홍민기 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

펄스 레이저 증착법에 의해 제작된 ZnO-Si-ZnO 다층 박막의 특성 연구

심은섭 ,  방성식 ,  강홍성 외 2명

전기전자재료학회논문지

2003 .01