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Helicon Wave Plasma 보조 증발법을 이용한 ZnO/si(111) 박막의 성장과 특성 평가
한국재료학회 학술발표대회
2002 .01
Helicon wave에 의하여 여기된 Ar 플라즈마 특성
한국표면공학회지
1994 .12
Helicon 고밀도 플라즈마를 이용한 0.5mm 이하의 텅스텐 식각 공정 연구 ( Helicon High Density Plasma Etching for Sub-Half Micron Tungsten Interconnections )
대한전자공학회 워크샵
1996 .01
C₄F₈/H₂ helicon wave 플라즈마를 이용한 contact 산화막 식각 공정시 과식각된 실리콘 표면의 잔류막과 손상층 형성 및 이의 제거에 관한 연구
한국표면공학회지
1998 .04
Al Etch and After-Corrosion Characteristics in a M=0 Helicon Wave Plasma Etcher
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
헬리콘 플라즈마원의 특성
한국표면공학회지
1999 .12
W Etching for Sub-half Micron using the Helicon High Density Plasma
ICVC : International Conference on VLSI and CAD
1995 .01
On the mechanism of power distribution in multiple ICP and Helicon sources
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2013 .11
헬리콘 플라즈마 원을 이용한 우주 추진체의 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2005 .11
Epitaxial Growth of GaN by HWP ( Helicon Wave Plasma ) Assisted Metal-Organic CVD ( Chemical Vapor Deposition ) Process
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
p-형 ZnO 박막의 성장 및 전기적특성에 대한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2003 .10
As 확산이 ZnO 박막의 특성에 미치는 효과
한국재료학회 학술발표대회
2000 .01
ZnO 박막을 이용한 표면탄성과 필터의 특성 ( Fabrication of Surface Acoustic Wave Filter Using ZnO Thin Films )
대한전자공학회 학술대회
1995 .07
기판 온도가 ZnO 박막의 특성에 미치는 영향
한국정보통신학회논문지
2006 .12
Carbon Nanotube Deposition using Helicon Plasma CVD at Low Temperature
한국정보디스플레이학회 International Meeting
2003 .01
As이 첨가된 ZnO 박막의 특성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
2001 .01
ZnO 및 ZnO:Fe 박막의 전기적 광학적 특성
전기학회논문지
1989 .05
헬리콘 플라즈마를 이용한 고선택 산화막 식각 ( A High Selectivity Oxide Etching with a Helicon Plasma )
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
R-면 사파이어 기판 위에 플라즈마 분자선 에피탁시법을 이용한 산화아연 박막의 성장 및 특성평가
전기전자재료학회논문지
2006 .01
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