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Cl2 / Ar 유도 결합 플라즈마에서 Pt 박막 식각시 N2 가스 첨가 효과 ( The Effect of Additive N2 Gas In Pt Film Etching Using Inductively Coupled Cl2 / Ar Plasmas )
전자공학회논문지-SD
2000 .07
N₂ 가스를 첨가한 Cl₂/Ar 플라즈마에 의해 식각된 ZnO 박막의 식각 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .10
Cl2/BCl3/Ar 플라즈마에서 반응성 이온들에 의해 식각된 ZnO 박막 표면 연구
전기전자재료학회논문지
2010 .01
Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
전기전자재료학회논문지
2002 .01
Dry Etching Characteristics of ZnO Thin Films for the Optoelectronic Device by Using Inductively Coupled Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2012 .01
고밀도 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성 분석
대한전기학회 학술대회 논문집
2006 .07
SF_6/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구
전기전자재료학회논문지
2011 .01
Cl₂/BCl₃/Ar 플라즈마에 의해 식각된 ZnO 박막 표면의 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
BCl₃/Ar 유도 결합 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성
전기학회논문지
2007 .03
Ar/Cl₂ 중성빔 식각에 의한 GaAs의 식각손상의 감소에 대한 고찰
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .05
Damage on the Surface of Zinc Oxide Thin Films Etched in Cl-based Gas Chemistry
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2011 .01
CH₄/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2009 .05
CF4/Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
전기전자재료학회논문지
2003 .01
The Dry Etching Properties of ZnO Thin Film in Cl2/BCl3/Ar Plasma
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2010 .01
Ar/CF4/Cl2 플라즈마에 의한 CeO2 박막의 식각 특성 연구
전기전자재료학회논문지
2002 .01
Metal 게이트 전극을 위한 TiN 박막의 건식 식각 특성
한국표면공학회지
2009 .08
고밀도 플라즈마를 이용한 p-type ZnO 박막의 건식 식각 메커니즘 연구
대한전자공학회 학술대회
2014 .06
유도 결합형 Cl₂계 플라즈마를 이용한 GaN 식각 특성에 관한 연구
한국표면공학회지
1999 .04
유도결합형 $Cl_2/BCl_3/Ar$ 플라즈마를 이용한 sapphire wafer의 건식 식각
한국재료학회 학술발표대회
1999 .01
Cl2/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각
전기전자재료학회논문지
2009 .01
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