LIPON계 고체전해질 박막을 이용한 리튬이차전지의 전해질/전극 계면특성에 관한 연구

노남석 ,  권혁상

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1996 .11

RF마그네트론 스퍼터 증착장치 개발연구(Ⅰ)

김희제 ,  문덕쇠 ,  진윤식 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

코발트 산화물 박막을 이용한 박막형 슈퍼 캐패시터의 제작 및 특성평가

김한기 ,  임재홍 ,  전은정 외 3명

한국재료학회지

2001 .01

Characterization of RF Sputter-deposited Sodium Phosphorous Oxynitride Thin Films as a Solid-state Sodium-ion Conductor

Sang-Eun Chun

한국표면공학회지

2017 .08

RF 마그네트론 스퍼터의 자기장 분포 변화에 의한 ITO 박막의 전기적 특성에 관한 연구

김현수 ,  김일영 ,  민상홍 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2012 .05

반응성 RF 마그네트론 스퍼터로 증착한 AIN 박막의 물성 및 SAW소자 특성에 관한 연구

高鳳哲 ,  田淳培 ,  黃永漢 외 3명

전기학회논문지 C

2004 .02

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

Pt/LiCoO₂/LiPON/Cu와 Pt/LiCoO₂/LiPON/LiCoO₂/Cu 구조를 갖는 Li-free 박막전지

신민선 ,  김태연 ,  이성만

한국표면공학회지

2018 .08

RF 마그네트론 스퍼터를 이용한 TiN 박막 제조 및 특성 분석

유창준 ,  심연아 ,  문종하 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

고주파 마그네트론 스퍼터장치로 증착한 Ti 박막의 특성에 관한 연구

배창환 ,  이주희 ,  한창석

열처리공학회지

2009 .01

RF 마그네트론 스퍼터법으로 성장한 p-i-n LED 구조의 특성평가

공보현 ,  김영이 ,  한원석 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2008 .01

RF Magnetron Sputtering법에 의해 제작한 마그네슘 박막의 특성연구

배일용 ,  김기준 ,  문경만 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 MgO 박막의 특성에 관한 연구

정연우 ,  윤차근 ,  황기웅

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .11

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO₄ 박막의 물성 평가

이현준 ,  조상현 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

RF마그네트론 스퍼터링법으로 증착된 Li₄SiO₄박막 고체전해질의 이온전도 특성에 관한 연구

김동진 ,  김태현 ,  이홍로

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1996 .11

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 탄화붕소 박막의제조

이광은 ,  김종오 ,  김종희 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

Al₂O₃ 기판위에 반응성 RF 마그네트론 스퍼터로 증착한 AIN 박막의 SAW소자 응용에 관한 연구

高鳳哲 ,  孫陳雲 ,  金炅錫 외 3명

전기학회논문지 C

2003 .07