코발트 산화물 박막을 이용한 박막형 슈퍼 캐패시터의 제작 및 특성평가

김한기; 임재홍; 전은정; 성태연; 조원일; 윤영수

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김한기 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터, 광주과학기술원 신소재공학과) 임재홍 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) 전은정 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터) 성태연 (광주과학기술원 신소재공학과) 조원일 (연료전지 센터) 윤영수 (한국과학기술연구원 박막기술연구센터)

저널정보: 한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제11권 제5호

발행연도: 2001.1

수록면: 339 - 344 (6page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (3)

2001

$RuO_2$박막의 미세 구조가 박막형 마이크로 슈퍼캐패시터의 특성에 미치는 영향

김한기 , 윤영수 , 임재홍 외 3명 한국재료학회지 2001.01 학술저널

코발트 산화물 박막을 이용한 박막형 슈퍼 캐패시터의 제작 및 특성평가

김한기 , 임재홍 , 전은정 외 3명 한국재료학회지 2001.01 학술저널

코발트 산화물 박막을 이용한 박막형 마이크로 슈퍼캐패시터의 제작 및 특성 평가

김한기 , 임재홍 , 전은정 외 3명 한국재료학회 학술발표대회 2001.01 학술대회자료

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코발트 산화물 박막을 전극으로 하여 Pt/Ti/Si 기판위에 Co$_3$O$_4$/LiPON/Co$_3$O$_4$로 구성된 전고상의 박막형 슈퍼캐패시터를 제작하였다. 각각의 Co$_3$O$_4$박막은 반응성 dc 마그네트론 스퍼터를 이용하여 $O_2$/[Ar+O$_2$] 비를 증가 시키며 성장시켰고, 비정질 LiPON 고체전해질 박막은 순수한 질소분위기 하에서 rf 스퍼터링으로 성장시켰다. 비록 벌크 타입의 슈퍼캐패시터에 비해 낮은 전기용량 (5-25mF/$\textrm{cm}^2$-$\mu\textrm{m}$)을 가졌지만, Co$_3$O$_4$/LiPON/Co$_3$O$_4$ 구조로 제작된 전고상 박막형 슈퍼캐패시터는 벌크 타입과 비슷한 거동을 나타내었다 0-2V의 전압구간, 50$\mu\textrm{A}/\textrm{cm}^2$의 전류밀도에서 약 400사이클 까지 안정한 방전용량을 유지함을 관찰할 수 있었다 이러한 전고상 박막형 슈퍼캐패시터의 전기화학적 특성은 $O_2$/[Ar+O$_2$] 비에 의존하는데, 이러한 의존성을 구조적, 전기적 특성 및 표면특성을 분석하여 설명하였다.

#Thin film supercapacitor #LiPON electrolyte #Co $_3$O $_4$ electrode and capacity

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이 논문의 저자 정보

김한기

소속기관 경희대학교 정보전자신소재공학과

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 24 이용수 28

임재홍

소속기관 한국기계연구원부설 재료연구소