157nm 광리소그래피 위상변위 마스크용 Si-O-N-F 박막의 특성연구

김성관 ,  김형도 ,  김정민 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

TOP ELECTRODE ANNEALING EFFECTS IN SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$/CeO$_2$/Si STRUCTURE

Shin ,  Dong-Suk ,  Lee 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

Si(100)의 얇은 산화막을 통한 Co$Si_{2}$형성에 관한 연구

신영철 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상현

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

상변화 마스크를 이용한 나노 리소그래피에 관한 연구

성중현 ,  김민수 ,  정명기 외 1명

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2018 .05

Fe-Si-O계 박막의 연자기 특성

고은수 ,  윤대식 ,  조완식 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2000 .01

하이브리드 공정으로 제조한 Ti-Si-N 박막의 특성평가

고철호 ,  이홍림 ,  김봉섭 외 4명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

a-Si TFT용, Si $O_{x}$의 저온성장에 관한 연구

정일채 ,  백청아 ,  이주현 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구

주병권 ,  방준호 ,  이윤희 외 2명

한국재료학회지

1994 .01

New Developments in 1 : 1 Optical Lithography

Hwan J. Jeong ,  Dave Ma ,  kle

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Performance Analysis of Si-Based Thin Film Solar Cells

Jeong Chul Lee ,  Snag Won Jun ,  Jae Ho Yun 외 3명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2004 .10

선형열처리를 이용한 Si(100)/Si$_3$N$_4$∥Si (100) 기판쌍의 직접접합

이영민 ,  송오성 ,  이상연

한국재료학회지

2001 .01

비정질/마이크로 탠덤 구조형 실리콘 박막 태양전지

이정철 ,  송진수 ,  윤경훈

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2006 .06

광리소그래피에서 최적 모양의 패턴 구현을 위한 포토마스크 역설계

오용호 ,  이재철 ,  임성우

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

광리소그래피에서 최적 모양의 패턴 구현을 위한 포토마스크 역설계 ( Reverse Design of Photomask for Optimum Fidelity in Optical Lithography )

오용호 ,  임성우 ,  이재철

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

광리소그래피에서 최적 모양의 패턴 구현을 위한 포토마스크 역설계 ( Reverse Design of Photomask for Optimum Fidelity in Optical Lithography )

이재철 ,  오용호 ,  임성우

전자공학회논문지-D

1997 .12

미해상회절 마스크 광리소그래피를 이용한 T-형 패턴 게이트 형성기술

박병선 ,  오용호 ,  양전욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

전기로를 이용한 $Si∥SiO_2/Si_3N_4∥Si$기판쌍의 직접접합

이상현 ,  이상돈 ,  서태윤 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

$SiO_2$ 위에 LP-CVD로 증착한 비정질 $Si/Si_{0.69}Ge_{0.31}, Si_{0.69}Ge_{0.31}Si$ 및 Si의 결정화 거동

김태훈 ,  류명관 ,  김진원 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01