광리소그래피 위상변위 마스크를 위한 Si-O-N-F 박막의 모사연구 및 특성분석

최은철 ,  김성관 ,  노광수 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

상변화 마스크를 이용한 나노 리소그래피에 관한 연구

성중현 ,  김민수 ,  정명기 외 1명

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2018 .05

미세 패턴 형성을 위한 위상 반전 마스크 연구 ( Alternating Phase Shift Mask for Sub-0.25 mm Lithography )

김희범 ,  안창남 ,  백기호

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

나노/마이크로 복합 금형 제작을 위한 소프트 마스크 위상 이동 리소그래피 공정 기술 연구

김지원 ,  조상욱 ,  이태호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2013 .05

위상변환 마스크 리소그래피에 의한 0.15 ㎛ T-형 게이트 형성방법

박병선 ,  김일광 ,  이진희 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

NMS의 동향 및 효율적인 망관리를 위한 NMS 적용 사례 분석

김남수 ,  류혜경 ,  최재호 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

2003 .11

157 nm 광리고그래피용 위상 변위막(SiONF)의 passivation 막으로서의 a-Si 박막의 광학적 특성 분석 및 SE 분석

김성관 ,  노광수 ,  강명아 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

롤타입 마스크를 이용한 연속 포토리소그래피 기술과 그 응용

곽문규

대한기계학회 논문집 B권

2012 .10

미해상회절 마스크 광리소그래피를 이용한 T-형 패턴 게이트 형성기술

박병선 ,  오용호 ,  양전욱 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

위상변환 마스크 리소그래피에 의한 0.15μm T-형 게이트 형성방법 ( The Formantion of 0.15μm T-Shaped GAte By Phase Shift Mask Using A New Optical Lithograpic Technique )

박병선 ,  김일광 ,  이진희 외 4명

대한전자공학회 학술대회

1996 .11

p-Si 기판에 성장한 BaTiO 박막의 두께와 구조적 특성과의 관계

민기득 ,  이종원 ,  김선진

한국재료학회지

2013 .01

위상이동 간섭계를 이용한 Si₃N₄ 박막의 두께 분포 측정

이정현 ,  정승준 ,  강전웅 외 2명

비파괴검사학회지

2005 .04

실리콘 파브리-페로 파장가변 열광학 필터

박수연 ,  강동헌 ,  김영호 외 1명

전기전자학회논문지

2008 .09

위상천이 네트워크를 사용한 X-마스크 기법

송동섭 ,  강성호

전자공학회논문지-SD

2007 .02

TOP ELECTRODE ANNEALING EFFECTS IN SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$/CeO$_2$/Si STRUCTURE

Shin ,  Dong-Suk ,  Lee 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

셀레늄증기 다중광선레이저의 헬륨 순도에 따른 광이득과 출력특성

최상태

조명·전기설비학회논문지

2002 .11

Si(100)의 얇은 산화막을 통한 Co$Si_{2}$형성에 관한 연구

신영철 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Mask Patterning Challenges Beyond 150nm

Ma ,  k Gesley

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Performance Analysis of Si-Based Thin Film Solar Cells

Jeong Chul Lee ,  Snag Won Jun ,  Jae Ho Yun 외 3명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2004 .10