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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2008.9
- 수록면
- 131 - 137 (7page)
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실리콘 박막 코팅을 이용한 WDM용 파장가변 실리콘 파브리-페로 열광학 필터를 제안하고 실험하였다. 실리콘 파브리-페로 파장가변 필터는 일반적인 실리콘 웨이퍼를 CMP 공정을 통해 1001%의 두께로 가공하여 양면에 거울면을 갖도록 박막 코팅하고 온도를 변화시키기 위해 PTC 써미스터를 부착하여 제작하였다. 거울면의 형성은 1550nm를 중심 파장을 갖도록 양면에 굴절율이 다른 물질 (=1.44)와 a-Si(=3.48)을 /4의 두께로 증착시켜 2층 박막과 3층 박막의 거울면을 제작하였다. 실험결과, 2층 박막의 경우 FSR이 3.61nm, FWHM이 0.56nm, finesse가 6.4로 나타났고, 3층 박막의 경우 FSR이 3.36nm, FWHM이 0.13nm, finesse가 25.5로 나타났다. 열광학 효과에 의한 파장 이동은 2층 박막 거울을 가진 필터의 경우 온도가 에서 투과 중심 파장이 1549.73nm 에서 1550.91nm, 에서 1553.46nm로 파장 이동을 하였고, 3층 박막 거울을 가진 필터의 경우는 온도가 에서 투과 중심 파장이 1549.83nm, 에서 1550.92nm, 에서 1553.07nm로 파장 이동을 하였다.
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참고문헌 (9)
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1. [학술대회논문] - M. Mahomoud / 2003 / Tunable Fiber Gratings Modeling and Simulation / Proceedings of the 36th Annual Simulation Symposium
2. [학술지(정기간행물)] - M. B. J. Diemeer / 1988 / Fused Coupler Switch using a Thermo-optic Cladding / Elect. Lett 24 (8) : 458 ~
3. [학술지(정기간행물)] - D. A. Smith / 1990 / Appl. Phys. Lett 56 (3)
4. [학술지(정기간행물)] - M. Aziz / 2000 / A new and Simple Concept of Tunable Two-Chip Microcavities for Filter Applications in WDM Systems / IEEE Photonics Technology Letters 12 : 1522 ~ 1524
5. [학술지(정기간행물)] - M. Iodice / 2000 / Silicon Fabry-Perot Filter for WDM Systems Channels Monitoring / Optics Communications 415 (418)
2. [학술지(정기간행물)] - M. B. J. Diemeer / 1988 / Fused Coupler Switch using a Thermo-optic Cladding / Elect. Lett 24 (8) : 458 ~
3. [학술지(정기간행물)] - D. A. Smith / 1990 / Appl. Phys. Lett 56 (3)
4. [학술지(정기간행물)] - M. Aziz / 2000 / A new and Simple Concept of Tunable Two-Chip Microcavities for Filter Applications in WDM Systems / IEEE Photonics Technology Letters 12 : 1522 ~ 1524
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