적외선 센서를 위해 흡수층으로서 rf Magnetron Sputtering에 의해 제조된 NiCr 박막의 특성

허성기 ,  최은석 ,  윤순길

한국재료학회지

2003 .01

반도체 메모리 소자 응용을 위한 TaSiN 확산 방지층의 산화 저항성

신웅철 ,  이응민 ,  최영심 외 5명

한국재료학회지

2000 .01

RF magnetron sputter를 이용하여 합성한 Si 박막의 결정성에 대한 수소 효과

서지민 ,  정민창 ,  명재민

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 면저항분석

박문찬 ,  오정홍 ,  김남영 외 1명

한국안광학회지

1999 .06

RF magnetron 스파터링법으로 제작한 TiN_x 박막의 XPS 분석

박문찬 ,  오정홍 ,  황보창권

한국안광학회지

1998 .12

NiCr과 NiCr-N 박막의 전기저항 특성에 관한 연구

김동진 ,  류제천 ,  김용일 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

NiCr 박막의 발열 특성 개선을 위한 순차적 이중 열처리 방법 연구

권용 ,  최동유 ,  박진성 외 2명

전기전자재료학회논문지

2005 .01

RF Magnetron Sputtering법에 의해 제작한 마그네슘 박막의 특성연구

배일용 ,  김기준 ,  문경만 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2000 .11

RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작한 고온 내구성 InSbO₄ 박막의 물성 평가

이현준 ,  조상현 ,  송풍근

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2012 .05

RF Magnetron Sputtering에 의한 $(Ba_{0.5}, Sr_{0.5})Tio_3$박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤손길

한국재료학회지

1994 .01

RF magnetron sputtering에 의한 $(Ba_{1-x},Sr_{x})TiO_{3}$ 박막의 제조와 전기적 특성에 관한 연구

박상식 ,  윤순길

한국재료학회 학술발표대회

1993 .01

RF Magnetron Sputtering을 이용한 $TiO_2$ 박막의 결정성과 광학적 특성

강계원 ,  이영훈 ,  곽재찬 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

NiCr 박막저항의 제작 및 특성연구

류제천 ,  김동진 ,  박종완 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2000 .07

ZnO Thin Films Co-Doped Li-Al Grown Using RF Magnetron Sputtering

Jun-Pyo Hong ,  Ki Chang Lee ,  Un Bin Han 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

GROWTH AND CHARACTERIZATION OF RF MAGNETRON SPUTTERED $AIn/Sio_2/Si(100)$ THIN FILMS

Kim ,  Hyung-T. ,  Whang 외 10명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

RF Magnetron Sputtering법으로 제작한 투명전도성 박막의 미세구조와 전기적 특성에 관한 연구

전용수 ,  김성수

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

RF Magnetron Sputter로 증착한 ZnO 압전변환기의 구조 및 음향특성에 관한 연구

이종덕 ,  고상춘 ,  송준태

대한전기학회 학술대회 논문집

1995 .07

RF magnetron sputter로 성장시킨 고유전 $TiO_2:SiO_2$ 박막의 특성

김성연 ,  오병윤 ,  함문호 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

2006 .01

The ternary B-C-N coatings using a rf Magnetron sputtering technique

Da Woon Jeong ,  Doo-in Kim ,  Kwang Ho Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11