Giga bit 급 DRAM 의 개발 동향

양원석 ,  황정모

전자공학회지

1997 .06

고밀도 플라즈마 CVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 특성

최치규 ,  강민성 ,  오경숙 외 6명

한국재료학회지

1999 .01

Ti / TiN 구조 Barrier Metal의 형성과 그 Contact 특성 ( The Formation and Contact Characteristics of Ti / TiN Structure Barrier Metal )

이철진 ,  박종욱 ,  박종호 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Ti/TiN 구조 Barrier Metal의 형성과 그 Contact특성

이철진 ,  박종욱 ,  박종호 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

Giga Bit 급 저전력 Synchronous DRAM 구조에 대한 연구 ( A Study on the Low Power Architecture of Multi - giga bit Synchronous DRAM`S )

유회준 ,  이정우

전자공학회논문지-C

1997 .11

형성조건에 따른 TiN/Ti Barrier Metal의 Al 및 Si 과의 열적 안전성 ( Thermal Stability of TiN/Ti Barrier Metals with Al Overlayers and Si Substrates Modified under Different Annealing Histories )

신두식 ,  오재응 ,  류성룡 외 5명

전자공학회논문지-A

1993 .07

Ti/TiN/Ti buffer layer/TiN 구조를 갖는 TiN 박막의 충격마모특성에 관한 연구

김광석 ,  김범석 ,  이상율

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .11

256K Bit 시대의 전망

한국전자산업진흥회

전자진흥

1985 .01

DRAM 기술에서 구리에 대한 Pt/Ti, Ni/Ti의 확산 방지막 특성에 관한 연구

노영래 ,  김윤장 ,  장성근

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .11

Several systems for 1Giga bit Modem

Jin-Sung Pa ,  k ,  Seong-Ho Kang 외 4명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2003 .10

Cu 배선공정에서 CVD-TiN 박막의 확산방지막 특성

정득석 ,  박기철 ,  송병창 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

DRAM 특집을 내면서

진대제

전기의세계

1989 .04

W as a BIT Line Interconnection in COB Structured DRAM and Feasible Diffusion Barrier Layer

Byun ,  Jeong-Soo ,  Kim 외 6명

Fabrication and Characterization of Advanced Materials

1995 .01

Electron Beam Lithography Simulation for the 1 Giga-Bit DRAM Photomask Manufacturing

Yoo Hyon Kim ,  Byung Cheol Cha ,  Hoong Joo Lee 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

W Polymetal Gate Technology for Giga Bit DRAM

Jong Wan Jung ,  Sang Beom Han ,  Kyungho Lee

JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE

2001 .03

Giga-Bit급 DRAM을 위한 고유전 ( Ba , Sr ) TiO3 박막 커패시티의 유전완화 특성에 대한 회로 모델 ( A Circuit Model of the Dielectric Relaxation of the High Dielectric ( Ba , Sr ) TiO3 Thin Film Capacitor for Giga-Bit Scale DRAMs )

장병탁 ,  차선용 ,  이희철

전자공학회논문지-SD

2000 .04

Reliability of Aluminum Film with TiN Barrier Metal

N. S. Kim ,  Y. W. Song ,  H. D. Kim 외 6명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

최적조건에서 형성된 TiN / Ti 구조의 Thermal Stability 에 관한 연구 ( Thermal Stability of Optimized TiN / Ti Barrier Metals with Al : 1%Si Overlayers and Si Substrates )

신두식 ,  오재응 ,  유성룡 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1992 .01

Ti / TiN 이층 BARRIER 구조를 갖는 0.5μm CONTACT의 P+ CONTACT 저항

김창렬 ,  김준기 ,  박재현 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01