대면적 기판의 투명 전극용 SnO₂ 박막 증착을 위한 APCVD 공정

김병국 ,  김현수 ,  김형준 외 3명

기술과 교육

2013 .07

APCVD법으로 성막된 SnO₂:F 박막의 열적 특성 연구

김유승 ,  옥윤덕 ,  김민경 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2009 .06

$O_{3}$/TEOS를 이용한 후막 Si$O_{2}$의 성장 특성

이우형 ,  김현수 ,  유지범

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

$O_3/HMDS$ APCVD를 이용한 후막 $SiO_2$ 성장특성연구

최진경 ,  이우형 ,  유지범

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

전자빔 표면개질을 이용한 SnO₂/Ni/SnO₂ 투명전극 박막의 전기광학적 특성 개선 연구

최민욱 ,  구강모 ,  심도연 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

SnO2 투명전극특성에 미치는 Sb첨가의 영향 - 투명전극제작연구 - ( Effects of Sb doping on the Characteristics of SnO2 Transparent Electrodes )

이정한

전자공학회지

1976 .07

이온 샤우어 도핑을 이용한 자기정렬방식의 APCVD 비정질 실리콘 박막 트랜지스터의 제작 ( Fabrication of self aligned APCVD a - Si TFT by using ion shower doping method )

문병연 ,  이경하 ,  정유찬 외 3명

전자공학회논문지-A

1995 .01

COMPUTER SIMULATION STUDY ON APCVD PROCESS FOR AMORPHOUS SiC THIN FILM ON THE SILICON WAFER

Joon Ho Koh ,  Seong Ihl Woo

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

APCVD 를 이용한 SiGe 베이스 이종 접합 바이폴라 소자 제작 및 특성 분석 ( Fabrication and Characteristics of the SiGe Base Heterojunction Bipolar Transistors using APCVD )

한태현 ,  이수민 ,  조덕호 외 3명

전자공학회논문지-A

1994 .11

ZnO/Ag/SnO₂ 박막의 적층구조에 따른 투명전극 특성 연구

김유성 ,  최진영 ,  최수현 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

SnO₂ 박막증착을 위한 APCVD Reactor 내 유량 균일도 향상에 대한 수치 해석적 연구

박준우 ,  윤익로 ,  정하승 외 3명

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2010 .05

산화주석 박막 증착 및 p-channel 박막 소자 응용

추은호 ,  이홍철 ,  김세윤 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2014 .05

The Effects of Sandwich-like Catalyst Thickness on the Vertical Growth of Carbon Nanotubes Using APCVD

Hyeong Keun Kim ,  Chee Sung Lee ,  Jae Boong Choi 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2008 .06

Spray Pyrolysis 방법으로 증착된 $SnO_2$박막의 전기 및 광학적 특성

김혜동 ,  박민수 ,  이범주 외 1명

한국재료학회지

1996 .01

A Study on Physical Characteristies of Boron Phosphide using APCVD

Kuen Kee Hong ,  Ye Cho Jung ,  Sun Kwan Hong 외 1명

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

2006 .06

증착에 의한 SnO2 / ( n ) Si 태양전지에 관한 연구 ( A Study on the SnO2 / ( n ) Si Solar Cell Manufactured by Vacuum Evaporation )

허창수 ,  윤문수 ,  전춘생

대한전자공학회 학술대회

1987 .05

화학 증착법에 의해 제조된 SnO₂ 박막의 미세 조직과 특성

이상창 ,  정상현 ,  김규호

한국표면공학회 학술발표회 초록집

1998 .11

태양전지용 SnO₂:Sb 박막의 제조 조건에 따른 전기적, 광학적 특성 연구

이재형

전기전자재료학회논문지

2009 .01