CF4/O2 gas 플라즈마를 이용한 폴리이미드 박막의 식각

강필승 ,  김창일 ,  김상기

전기전자재료학회논문지

2002 .01

CF4 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구 ( A study on dry etching process using CF4 Plasma )

김성철 ,  황기웅 ,  이종덕 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식각에 관한 연구

황기웅 ,  이종덕 ,  김성철 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1986 .12

O2+CF4 저압플라즈마를 이용한 감광막 식각특성 연구 ( A Study on the Resist Etching Characteristics in the Low Pressure O2+CF4 Plasma )

최영규 ,  강진영 ,  마동성

대한전자공학회 학술대회

1987 .11

X-선 마스크 제작을 위한 텅스텐 식각

정창영 ,  송기창 ,  전영삼 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

The Use of Inductively Coupled CF4/Ar Plasma to Improve the Etch Rate of ZrO2 Thin Films

김한수 ,  김창일 ,  우종창 외 1명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2013 .01

CF₄ 플라즈마를 이용한 건식식간에 관한 연구

黃琪雄 ,  金成哲 ,  徐龍雲

전기학회논문지

1987 .11

장르 기반 Collaborative Filtering 영화 추천

황기태

한국인터넷방송통신학회 논문지

2010 .01

아르곤과 혼합된 사불산화탄소 가스의 플라즈마 분해에 관한 공간 평균 시뮬레이션

김승겸 ,  서정현

조명·전기설비학회논문지

2018 .12

A Study on the PEO-LiN$(SO_2CF_2CF_3)_2-SiO_2$ Composite Electrolyte

김종욱 ,  이재필 ,  박종완

한국재료학회 학술발표대회

2002 .01

고열전도 CF/Al 복합재료의 개발을 위한 일방향 CF 프리폼의 제조

이문희 ,  김성원 ,  이상필 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .04

The Dry Etching of TiN Thin Films Using Inductively Coupled CF4/Ar Plasma

우종창 ,  최창욱 ,  주영희 외 2명

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2013 .01

CF₄/O₂ 혼합기체 플라즈마를 이용한 이산화 우라늄의 표면식각반응

민진영 ,  김용수

한국표면공학회지

1999 .04

Dry Etching of Au Films Using CF4 and O2 Plasma

이종수 ,  권영세

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

O₂/CF₄ 유도결합 플라즈마를 이용한 Polyimide 박막의 식각 특성

강필승 ,  김창일

대한전기학회 학술대회 논문집

2001 .07

리눅스 스케줄링 알고리즘 CFS를 위한 시뮬레이션 모델

김용수

한국정보기술학회논문지

2011 .07

Downstream 유도형 반응기의 제작 및 CF4 / O2 플라즈마를 이용한 a-Si : H의 식각 ( Fabrication of Downstream Inductively Coupled Reactor and Etching of a-Si : H Using CF4 / O2 Plasma )

박상준 ,  강석진 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1992 .07

비열플라즈마를 이용한 CF4 분해에 미치는 혼합가스의 영향

김종석 ,  정장근 ,  박재윤 외 2명

전기전자재료학회논문지

2002 .01

Dry etching of ZnO thin film using a $CF_4$ mixed by Ar

Kim ,  Do-Young ,  Kim 외 1명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2009 .01