LPCVD-Si3N4 박막의 열 산화 ( Thermal Oxidation of Thin LPCVD-Si3N4 Film )

고재석 ,  구경완 ,  조동율 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

$SiO_2$ 위에 LP-CVD로 증착한 비정질 $Si/Si_{0.69}Ge_{0.31}, Si_{0.69}Ge_{0.31}Si$ 및 Si의 결정화 거동

김태훈 ,  류명관 ,  김진원 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Si₂B₆를 이용한 LPCVD실리콘 박막의 결정 성장 및 구조적 성질에 관한 연구

洪贊熹 ,  朴昌燁

전기학회논문지

1991 .07

증착속도에 따른 LPCVD 비정질실리콘 박막의 고상결정화거동

최용우 ,  손동균 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

마이크로파를 이용한 LPCVD a-Si의 저온 결정화 및 TFT에 관한 연구

최용우 ,  이정노 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )

전치훈 ,  정기로 ,  장원익 외 3명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )

전치훈 ,  정기로 ,  장원익 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

축적된 Ge층이 Si₁-ₓGeₓ/Si의 산화막 성장에 미치는 영향

신창호 ,  강대석 ,  박재우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

저압 CVD에 의한 Si0.8 Ge0.2 막의 Epitaxial Growth ( Epitaxial Growth of Si0.8 Ge0.2 Layer by LPCVD )

이철진 ,  엄문종

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

저압 CVD에 의한 Si0.8Ge0.2막의 Epitaxial Growth

이철진 ,  엄문종

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

Si₁ₓ-Geₓ/Si 구조에서의 Hall 이동도

강대석 ,  신창호 ,  박재우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

Study on removing the defects in LPCVD poly-Si films by two-stage deposition method

Kim Gyong Nam

ICEIC : International Conference on Electronics, Informations and Communications

1995 .08

IN-SITU PHOSPHORUS HEAVY DOPING ON $Si_{1-x}Ge_x$ EPITAXIAL GROWTH WITH HIGH Ge FRACTION BY USING LPCVD

Lee ,  C.J. ,  Matsuu 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

In-Situ Phosphorus Doping on Si1-xGex Epitaxial Growth in the SiH4-GeH4-PH3 Gas System by Using LPCVD

Cheol Jin Lee ,  Takashi Matsuu ,  a 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

PAE에 의한 GaAs / Ge / Si구조를 의한 Si기판위의 Ge 결정성장 ( Ge crystal growth on Si substrate for GaAs / Ge / Si structure by Plasma Assisted Epitaxy )

김성수 ,  박상준 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

EFFECT OF DEPOSITION CONDITIONS AT THE HETEROGENEOUS NUCLEATION SITES ON THE CRYSTALLIZATION BEHAVIOR OF LPCVD a-Si FILMS ON $SiO_2$

Ryu ,  M.K. ,  Hwang 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

세 가지 다른 구조로 제작된 LPCVD Si₃N₄ 센서 소자의 pH 감지특성의 비교분석

신백균 ,  이능헌 ,  임헌찬 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .07

LPCVD법으로 증착된 다층비정질 실리콘박막의 고상결정화

황의훈 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1995 .01

Strained Si를 만들기 위한 SiGe layer 형성에 temperature, $GeH_4$ gas pre-flow, gas ratio가 미치는 영향

안상준 ,  이곤섭 ,  박재근

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01