LPCVD-Si3N4 박막의 열 산화 ( Thermal Oxidation of Thin LPCVD-Si3N4 Film )

고재석 ,  구경완 ,  조동율 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

LPCVD System

이중환

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01

Si₂B₆를 이용한 LPCVD실리콘 박막의 결정 성장 및 구조적 성질에 관한 연구

洪贊熹 ,  朴昌燁

전기학회논문지

1991 .07

a-Si TFT용, Si $O_{x}$의 저온성장에 관한 연구

정일채 ,  백청아 ,  이주현 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )

전치훈 ,  정기로 ,  장원익 외 3명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

LPCVD 시스템에 의한 박막 증착 연구 ( A Study on the Deposition of Thin Films by LPCVD System )

전치훈 ,  정기로 ,  장원익 외 3명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

세 가지 다른 구조로 제작된 LPCVD Si₃N₄ 센서 소자의 pH 감지특성의 비교분석

신백균 ,  이능헌 ,  임헌찬 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .07

LPCVD 공정중 웨이퍼의 온도장 해석 ( An Analysis of Temperature Field of Wafers in LPCVD Process )

김일경 ,  정민철 ,  김우승 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

1997 .01

핵생성 계면 제어된 LPCVD 비정질 실리콘 박막의 고상결정화를 이용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제조

황의훈 ,  정세진 ,  노재상

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

Off-Current Mechanism of LPCVD Poly-Si Thin Film Transistors Fabricated at Low Temperature

진교원 ,  서동규 ,  김진 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1996 .01

LPCVD 공정중 웨이퍼의 온도장 해석 ( Thermal Analysis of the Wafers in LPCVD Process )

김일경 ,  정민철 ,  김우승 외 3명

대한기계학회 논문집 B권

1998 .05

램프 가열 방식 LPCVD 장비의 설계 및 제작

하용민 ,  김태성 ,  김충기

대한전기학회 학술대회 논문집

1991 .11

Selective Crystallization of LPCVD a-Si Films using SiO2 Mask by Metal Adsorption Method

손동균 ,  최용우 ,  안병태

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

수치해석 모델을 이용한 a-Si:H TFT의 정적 I-V특성 분석

한태호 ,  정관수 ,  장진

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

수치해석 모델을 이용한 a-Si : H Tft의 정적 I-V 특성 분석 ( The Analysis of the Static I-V Characteristics of a-Si : H Tft Using the Numerical Model )

한태호 ,  정관수 ,  장진

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

A Novel Method of Solid Phase Crystallization of LPCVD Amorphous Si Films by Nucleation Interface Control

Eui Hoon Hwang ,  Se Jin Chung ,  Jae Sang Ro

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

LPCVD 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과에 관한 연구

金容商 ,  崔權永 ,  金榮浩 외 1명

전기학회논문지

1994 .12

저온제작 LPCVD 다결정 실리콘 박막트랜지스터의 전기적 특성 ( The Electrical Characteristics of LPCVD Poly Silicon Thin Film Transistors Fabricated at Low Temperature )

박승희 ,  정주용 ,  홍찬희 외 1명

전자공학회논문지-A

1992 .06

증착속도에 따른 LPCVD 비정질실리콘 박막의 고상결정화거동

최용우 ,  손동균 ,  안병태

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Device Physics of Low Temperature Poly-Si and Single Grain TFTs

Miglio ,  ato ,  P. 외 9명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2004 .01