고농도 Ge fraction을 갖는 Si1-xGex막의 Epitaxial Growth에 대한 In-Situ Phosphorus Doping 효과 ( In-situ Phosphorus Doping Effect on Epitaxial Growth of Si1-xGex Film with High Ge Fraction )

이철진 ,  박정훈 ,  김성진

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

저압 CVD에 의한 Si_0.8Ge_0.2 Epitaxial Growth에 대한 In-situ Phosphorus Doping 효과

李鐵眞

전기학회논문지

1998 .12

In-Situ Phosphorus Doping Effect on Si0.8 Ge0.2 Epitaxial Growth by ultraclean LPCVD

이철진 ,  엄문종 ,  성만영

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

저압 CVD에 의한 Si_0.8Ge_0.2 epitaxial growth에 대한 Phosphorus doping 효과

이철진 ,  엄문종 ,  성만영

대한전기학회 학술대회 논문집

1997 .11

$Si_{2}H-{6}$ 과 $GeH_4$가스를 이용한 LPCVD $a-Si_{1-x}Ge_{x}$ 박막증착과 고상결정화 거동

김진원 ,  류명관 ,  김기범 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

$H_2O_2$와 $SiH_4$를 이용한 LPCVD 유동 산화막의 특성

안상태 ,  박상균 ,  김시범 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

1999 .01

IN-SITU PHOSPHORUS HEAVY DOPING ON $Si_{1-x}Ge_x$ EPITAXIAL GROWTH WITH HIGH Ge FRACTION BY USING LPCVD

Lee ,  C.J. ,  Matsuu 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

축적된 Ge층이 Si1-xGex / Si의 산화막 성장에 미치는 영향 ( The Effects of Piled up Ge-rich Layer on the Oxide Growth of Si1-xGex / Si Epitaxial Layer )

신창호 ,  강대석 ,  박재우 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1998 .07

Optimization of Selective Epitaxial Growth of Silicon in LPCVD

Woo-Seok Cheong

[ETRI] ETRI Journal

2003 .12

저압 CVD에 의한 Si0.8Ge0.2막의 Epitaxial Growth

이철진 ,  엄문종

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

저압 CVD에 의한 Si0.8 Ge0.2 막의 Epitaxial Growth ( Epitaxial Growth of Si0.8 Ge0.2 Layer by LPCVD )

이철진 ,  엄문종

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

고농도 Ge fraction을 갖는 Si₁ₓ-Geₓ막의 Epitaxial Growth에 대한 In-Situ Phosphorus Doping 효과

이철진 ,  박정훈 ,  김성진

대한전자공학회 학술대회

1998 .06

THE GROWTH , PROPERTIES AND APPLICATIONS OF Si1-xGex ALLOYS

S. S. Iye

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Sil-xGex / Si 에피택셜층의 건식산화동안 Ge 재분포 ( The Ge Redistribution During Dry Oxidation of Si1-xGex / Si Epitaxial Layer )

신창호 ,  김태형 ,  김재범 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .11

Strained Si를 만들기 위한 SiGe layer 형성에 temperature, $GeH_4$ gas pre-flow, gas ratio가 미치는 영향

안상준 ,  이곤섭 ,  박재근

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

Si₂B₆를 이용한 LPCVD실리콘 박막의 결정 성장 및 구조적 성질에 관한 연구

洪贊熹 ,  朴昌燁

전기학회논문지

1991 .07

세 가지 다른 구조로 제작된 LPCVD Si₃N₄ 센서 소자의 pH 감지특성의 비교분석

신백균 ,  이능헌 ,  임헌찬 외 4명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .07

GeH₄ 기체의 전자수송계수에 관한 연구

류선미 ,  전병훈

대한전기학회 학술대회 논문집

2009 .07

LPCVD-Si3N4 박막의 열 산화 ( Thermal Oxidation of Thin LPCVD-Si3N4 Film )

고재석 ,  구경완 ,  조동율 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

LPCVD System

이중환

대한전자공학회 단기강좌

1983 .01