Sub-Half Micron Contact 식각에서 Post Etch Treatment 연구

박병준 ,  김진웅 ,  김상욱 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .01

MLR ( Multilayer Resist ) 공정에 의한 Sub Half Micron Lithography

최민성 ,  김우식 ,  김홍석 외 4명

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

W Etching for Sub-half Micron using the Helicon High Density Plasma

Seoung Wook Lee ,  Chang Ju Choi ,  Yeo Song Seol 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

Sub-Half Micron Optical Lithography with dry Development

백기호

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Sub-Quarter-Micron Pt Etching Technology using round head EB Resist

Takashi Yunogami ,  Takao Kumihashi

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Fabrication of Sub-Half Micron PMOS Device

Yeo Hwan Kim ,  Sang Jik Jwon ,  KuK Jin Chun 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1992 .01

Sub 2-Micron CMOS 개발

최민성

대한전자공학회 학술대회

1986 .01

Optical Resist Process Technology for Deep-Submicron Patterning

문승찬 ,  복철규 ,  김진섭 외 3명

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Novel Model and Protection Technique for Charged Device Model in Half-Micron CMOS Process

Eun Kyoung Kwon ,  H. R. Pa ,  k 외 2명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

Fabrication of inorganic long micron/sub-micron tubes using fibrous polymers as templates

김영백 ,  정은선

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2002 .04

습식식각을 이용한 나노박막 패터닝 기술

이민영 ,  이승훈 ,  김관오 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2017 .12

레이저를 이용한 회로 패터닝

박민수 ,  원시태 ,  김한글 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

Image Reversal 공정을 이용한 Sub-Micron 게이트의 제작 ( The Fabrication of a Sub-Micron Gate Using IR Processes )

이일형 ,  김상명 ,  윤관기 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1992 .11

Sub-0.1mm Patterning Characteristics of Inorganic Resists by Focused-Ion-Beam Lithography

Seung Woo Paek ,  Soo Ho Pa ,  k 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

초음파 패턴성형시 패턴 방향에 따른 전사특성 고찰

서영수 ,  이기연 ,  박근

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2012 .04

Quarter Micron Device 이후 동향

이경호 ,  김준희

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

Temperature memory effect for size reduction patterning and its application

배원규 ,  백상민 ,  서갑양

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2013 .04

Deep sub-micron CMOS의 소자고립을 위한 Shallow Trench 식각공정에 관한 연구

이주훈 ,  김현수 ,  염근영

한국재료학회 학술발표대회

1996 .01

전기 - 수력학 프린팅을 이용한 세라믹 미세입자 패턴에 관한 연구

이대영 ,  김상윤 ,  류태우 외 2명

대한기계학회 논문집 B권

2005 .04

Photo resist for sequential photo patterning and thermo cure

조영욱 ,  김수민 ,  김진백

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2010 .04