DEEP SUBMICRON CMOS TECHNOLOGY AND DESIGN CHALLENGES

Bijan Dava ,  i

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

단층 RESIST의 미세패턴 형성 기술 ( Submicron Technology of Single Layer Photo-Resist )

배경성 ,  홍승각

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

Deep submicron PMOSFET의 Scaling 방법

장성준 ,  김용택 ,  유종근 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .12

Deep Submicron PMOSFET의 Scaling 방법 ( Scaling Methodology of Deep Submicron P-MOSFET )

장성준 ,  김용택 ,  유종근 외 3명

대한전자공학회 학술대회

1995 .11

SUBMICRON DEVICE RELIABILITY RESEARCH

Chenming Hu

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1989 .01

Reliability and Power Estimation of Deep Submicron VLSI Circuits

Ib ,  ahim Haji

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01

삼층감광막구조를 이용한 미세패턴의 전자빔 묘화 ( Submicron Patterning in Electron Beam Lithography using Trilayer Resist )

배용철 ,  서태원 ,  전국진

전자공학회논문지-A

1994 .10

Submicron 소자를 위한 고속열처리 공정 ( Rapid Thermal Processing for Submicron Devices )

김충기

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

Submicron 소자를 위한 고속열처리 공정 ( Rapid Thermal Processing for Submicron Devices )

김충기

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

Simulation and Edge Profiles of Chemically Amplified Resists with Highly Contrast in the Deep Submicron Range by using the Electron Beam lithography

Young Mog Ham ,  Chang Buhm Lee ,  Soo Hwan Kim 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Submicron에서의 소자 기술 동향

신형순

전자공학회지

1991 .09

Low Temperature Etching of Resist for Sub-Half Micron Patterning

박찬동 ,  김준모 ,  김진웅 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

Submicron 이미지 분석을 이용한 수화물 분석방법

문주혁 ,  배성철

콘크리트학회지

2019 .05

Electrical properties and thermal stability of Al/$WN_x$/Ti submicron contact structure

Kim ,  Yong-Tae ,  Sim 외 3명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2002 .01

Deep Submicron급 CMOS 디바이스에서 Triple Well 형성과 래치업 면역 향상에 관한 연구 ( A Study on Improvement Latch-up immunity and Triple Well formation in Deep Submicron CMOS devices )

홍성표 ,  전현성 ,  강효영 외 2명

전자공학회논문지-D

1998 .09

초음파 패턴성형시 패턴 방향에 따른 전사특성 고찰

서영수 ,  이기연 ,  박근

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2012 .04

레이저를 이용한 회로 패터닝

박민수 ,  원시태 ,  김한글 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

A New Analytical Model for Channel Thermal Noise of Deep-submicron RF MOSFETs

Jongwook Jeon ,  Yujo Yun ,  Y.W. Kim 외 1명

대한전자공학회 ISOCC

2006 .10

Submicron Gate Structure의 신뢰성 및 노화현상에 관한 연구 ( Reliability and Degradation Phenomena of Submicron Gate Structure )

이명복 ,  이정일 ,  강광남

특정연구 결과 발표회 논문집

1989 .01