Development of Internal linear Inductively Coupled Plasma Sources for Large Area Flat Penal Display Processing

Lim, Jong-Hyeuk; Park, Jung-Kyun; Kim, Kyong-Nam; Yeom, Geun-Young

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Lim, Jong-Hyeuk (Department of Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University) Park, Jung-Kyun (Department of Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University) Kim, Kyong-Nam (Department of Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University) Yeom, Geun-Young (Department of Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권1호

발행연도: 2007.1

수록면: 933 - 936 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2009

Characteristics of Line-type Internal Inductively Coupled Plasma Source for Flexible Display Processing

Lim , Jong-Hyeuk , Kim 외 7명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2009.01 학술대회자료

2007

Development of Internal linear Inductively Coupled Plasma Sources for Large Area Flat Penal Display Processing

Lim , Jong-Hyeuk , Pa 외 6명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2007.01 학술대회자료

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An inductively coupled plasma source with internaltype linear inductive antennas named as "multiple Utype antenna" was developed for the substrate size of $2,300mm\;{\times}\;2,000mm$. High density plasmas on the order of $1.18\;{\times}\;10^{11}\;cm^{-3}$ could be obtained and the RF power of 8kW with good plasma stability.

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Lim, Jong-Hyeuk

소속기관 Department of Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 3 이용수 0

Park, Jung-Kyun

소속기관 Department of Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 1 이용수 0

Kim, Kyong-Nam

소속기관 Department of Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 3 이용수 0

Yeom, Geun-Young

소속기관 School of Advanced Materials Science and Engineering, Sungkyunkwan University

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 10 이용수 1

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