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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
이원기 (한양대학교 전기공학과) 이경효 (한양대학교 전기공학과) 정진욱 (한양대학교 전기공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2005년도 추계 학술대회
발행연도
2005.1
수록면
197 - 202 (6page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2005

13.56 MHz 유도 결합 플라즈마에서의 강자성체 페라이트 코어의 효과
이원기 ,  이경효 ,  정진욱 반도체및디스플레이장비학회지 2005.01 학술저널
13.56MHz 유도 결합 플라즈마에서의 강자성체 페라이트 코어의 효과
이원기 ,  이경효 ,  정진욱 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2005.01 학술대회자료

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Due to high permeability of the ferrite core, the characteristics of the ICP are expected to be greatly improved. We investigated the effect of the ferrite cores on conventional inductively coupled plasma. It was observed that the current and voltage in ike ICP antenna are slightly decreased and the power transfer efficiency is increased. However, due to eddy current and hysterisis loss, plasma density in the ICP with the ferrite cores is not increased. It seems that the ICP with the ferrite cores at low frequency (${\~}$100kHz) will be greatly improved since the losses at the low frequency can be negligible.
#Inductively coupled plasma #ferrite core #plasma source #power transfer efficiency

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