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저자정보
Jeong, Byoung-Seong (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co., LTD.) Park, Chang-Mo (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co., LTD.) Kim, Mu-Gyeom (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co., LTD.) Chung, Hyun-Joong (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co., LTD.) Ahn, Tae-Kyung (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co., LTD.) Heo, Seong-Kweon (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co., LTD.) Jeong, Jong-Han (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co., LTD.) Kim, Min-Kyu (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co., LTD.) Park, Hye-Hyang (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co., LTD.) Huh, Jong-Moo (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co., LTD.) Mo, Yeon-Gon (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co., LTD.) Kim, Hye-Dong (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co., LTD.) Kim, Sang-Soo (OLED R&D Center, Samsung Mobile Display Co., LTD.)
저널정보
한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2009년도 9th International Meeting on Information Display
발행연도
2009.1
수록면
1,040 - 1,043 (4page)

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a-IGZO is an attractive material to make an AMOLED device with uniform TFT properties for use in a large size display. However, this material shows TFT properties that are very sensitive to water or hydrogen. Therefore, it is essential to control these critical factors during fabrication of the backplane in order to improve the TFT performance. In this paper, we report the effect of passivation layer properties on the performance of the oxide TFTs.
#Oxide #a-GIZO #a-IGZO #passivation #hydrogen

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