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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 저널정보
- 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2008년도 International Meeting on Information Display
- 발행연도
- 2008.1
- 수록면
- 1,171 - 1,174 (4page)
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We studied the properties of vapor flux distributions of nozzle shaped thermal evaporation sources and the factors, which can change the flux distributions such as nozzle structure. We used a simulation and experiment methods for this study. By using the results of our study, we improved the Circular Nozzle Source, which can make uniform thin films without substrate rotation, into more efficient source.
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