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학술대회자료
저자정보
서민규 (한양대학교) 최동훈 (한양대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 창립 70주년 기념 학술대회
발행연도
2015.11
수록면
3,488 - 3,491 (4page)

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One of the most affective factors for thin film uniformity in vacuum deposition system is temperature distribution. In this research, design optimization based on CAE which is related to thermal analysis was performed to minimize temperature distribution in evaporation system. In order to minimize the distribution, various parts of evaporation system were changed within the design range. Heat Analysis was performed using ABAQUS. Based on thermal analysis results which are obtained from various analyses, we conducted an optimal design. It was conducted by commercial optimization software. After generating the approximation model based on the DOE data, an optimal design was performed. As a result, the temperature distribution was improved compared to conventional designs
#Evaporation(증착) #Optimization(최적화) #Heat Analysis(열해석)

목차

Abstract
1. 서론
2. 증착시스템 구성
3. 열해석 모델 구성
4. 증착시스템의 최적 설계
5. 결론
참고문헌

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2016-550-002169595