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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
주영철 (순천향대학교 기계공학과) 한충환 (순천향대학교 대학원 기계공학과) 엄태준 (순천향대학교 기계공학과) 이상욱 (순천향대학교 기계공학과) 김국원 (순천향대학교 기계공학과)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제6권 제4호
발행연도
2007.1
수록면
39 - 42 (4page)

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Temperature distribution of the circular heat source was studied by analyzing the heat transfer of the environment of the circular source for OLED. Circular nozzle source was used to fabricate thin organic layer as the organic material in it was heated, vaporized and deposited to the large size panel. A modified heater structure of circular source has been suggested. The results of numerical analysis shows that the modified heater structure can use 15% more powder in a batch than the original heater structure does. Moreover, the modified heater structure can improve the uniformity of organic vapor deposition by controlling the temperature.

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