Structure of Deposition Chamber using Belt Source Evaporation Techniques in AMOLED Manufacturing

Hwang, Chang-Hun

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: Hwang, Chang-Hun (OLEDON Co., Ltd.)

저널정보: 한국정보디스플레이학회 한국정보디스플레이학회 International Meeting 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권1호

발행연도: 2007.1

수록면: 186 - 189 (4page)

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2007

TPS Analysis of Various Metal Plates for Belt Source Evaporation in AMOLED Manufacturing

Hwang , Chang-Hun 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2007.01 학술대회자료

TPS Analysis of NPB organic thin film for Belt Source Evaporation in AMOLED Manufacturing

Hwang , Chang-Hun 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2007.01 학술대회자료

Co-Deposition of Rubrene doped Alq3 film Using Belt Source Evaporation Techniques for Large Size AMOLED

Hwang , Chang-Hun , Ju 외 4명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2007.01 학술대회자료

Structure of Deposition Chamber using Belt Source Evaporation Techniques in AMOLED Manufacturing

Hwang , Chang-Hun 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2007.01 학술대회자료

Doping control of Belt Source Evaporation Techniques for Large Size AMOLED

Hwang , Chang-Hun 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2007.01 학술대회자료

In-Line Manufacturing Tool Using Linear Belt Source Evaporation for Large Size Lighting OLED and Flexible OLED

Hwang , Chang-Hun 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2007.01 학술대회자료

2006

Belt Source and In-Line Manufacturing Equipment for Very Large-Size AMOLED

Hwang , Chang-Hun , Kim 외 13명 Journal of information display 2006.01 학술저널

Belt Source and In-Line Manufacturing Equipment for Very Large-Size AMOLED

Hwang , Chang-Hun , Kim 외 7명 한국정보디스플레이학회 International Meeting 2006.01 학술대회자료

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The organic deposition chamber has been developed using belt source evaporation techniques for the first time. The deposition chamber is consisted of the belt source, organic vapor source, and the mask alignment assembly. The rollers operate for the thin metal belt to continuously move with the automatic tension control. It has been proved for the belt source evaporation easy to operate and the alignment of the substrate/shadow mask becomes so simple to use in AMOLED manufacturing industry.

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