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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김창규 (한국과학기술원 신소재공학과) 이원종 (한국과학기술원 신소재공학과)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회지 한국재료학회지 제21권 제1호
발행연도
2011.1
수록면
56 - 66 (11page)

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Multi-source evaporation is one of the methods to improve the thickness uniformity of thin films deposited by evaporation. In this study, a simulator for the relative thickness profile of a thin film deposited by a multi-source evaporation system was developed. Using this simulator, the relative thickness profiles of the evaporated thin films were simulated under various conditions, such as the number and arrangements of sources and source-to-substrate distance. The optimum conditions, in which the thickness uniformity is minimized, and the corresponding efficiency, were obtained. The substrate was a 5th generation substrate (dimensions of 1300 mm ${\times}$ 1100 mm). The number of sources and source-to-substrate distance were varied from 1 to 6 and 0 to the length of the major axis of the substrate (1300 mm), respectively. When the source plane, the area on which sources can be located, is limited to the substrate dimension, the minimum thickness uniformity, obtained when the number of sources is 6, was 3.3%; the corresponding efficiency was 16.6%. When the dimension of the source plane is enlarged two times, the thickness uniformity is remarkably improved while the efficiency is decreased. The minimum thickness uniformity, obtained when the number of sources is 6, was 0.5%; the corresponding efficiency was decreased to 9.1%. The expansion of the source plane brings about not only the improvement of the thickness uniformity, but also a decrement of the efficiency and an enlargement of equipment.
#thickness uniformity #evaporation #simulation

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장지근 / 2008 / [TCTA-TAZ]:Ir(ppy)₃이중 발광층을 갖는 고효율 녹색 인광소자의 제작과 특성 평가 / 한국재료학회지 18(4):199~203 google schola C. C. Hwang / 2008 / J. Soc. Inf. Disp 16(3):465 google schola H. Chen / 2010 / Vacuum 85(3):448 google schola V. Aimin / 2006 / J. Opt. Tech 73(8):555 google schola J. R. Nicholls / 1998 / in Proceedings of Intelligent Processing of High Performance Materials :16~21 google schola

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