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리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 기판 위의 Cu 불순물 제거
한국재료학회지
1996 .01
$UV/O_3$과 HF 세정이 금속불순물 제거와 gate 산화막 특성에 미치는 영향
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 표면 위의 Fe 불순물 제거
한국재료학회지
1998 .01
Si 기판 세정 조건에 따른 산화막의 특성 연구
한국재료학회 학술발표대회
1994 .01
산세에 의한 금속급 실리콘의 금속 불순물 제거
한국에너지학회 학술발표회
2015 .04
Si 기판에서 구리와 철 금속불순물의 제거에 대한 연구
한국재료학회지
1998 .01
웨이퍼 표면의 Si₃N₄ 파티클 제거를 위한 초임계 이산화탄소 세정
청정기술
2018 .09
Effect of cleaning process and surface morphology of silicon wafer for surface passivation enhancement of a-Si/c-Si heterojunction solar cells
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2010 .06
리모트 수소 플라즈마를 이용한 실리콘 표면의 금속오염 제거 및 제거기구
한국재료학회 학술발표대회
1996 .01
TOP ELECTRODE ANNEALING EFFECTS IN SrBi$_2$Ta$_2$O$_9$/CeO$_2$/Si STRUCTURE
한국재료학회 학술발표대회
1998 .01
금속불순물 제거를 위한 UV/ozone과 HF 세정연구
한국재료학회지
1996 .01
Si(100)의 얇은 산화막을 통한 Co$Si_{2}$형성에 관한 연구
한국재료학회 학술발표대회
1997 .01
선형열처리를 이용한 Si(100)/Si₃N₄∥Si(100)기판쌍의 직접접합
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2000 .11
폐FCC 촉매의 재활용 과정에서 자력 선별법에 의한 불순물 제거 연구
자원리싸이클링
2003 .01
원자력산업에서 지르코늄 스크랩 재활용을 위한 세정기술에 관한 연구
청정기술
2013 .09
RF플라즈마 세정을 이용한 Nylon66섬유표면의 Si제거에 미치는 O₂ 가스 영향에 관한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2005 .11
레이저 복합기의 재제조공정을 위한 전자부품 세정시스템의 개발
청정기술
2012 .09
전리수를 이용한 Si 웨이퍼 표면 변화 연구
한국산학기술학회 논문지
2002 .06
직접 접합된 Si-Si, Si-$SiO_2$/Si기판쌍의 접합 계면에 관한 연구
한국재료학회지
1994 .01
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