저압 플라즈마 세정가스에 따른 세정특성 연구

구희준 ,  고광진 ,  정찬교

청정기술

2001 .09

원거리 플라즈마에 의해 처리된 ITO 표면 상태의 특징

김석훈 ,  김양도 ,  전형탁

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

세정평가

안강호

공기청정기술

1994 .01

저온 플라즈마를 이용한 가스상 오염 물질 제거

변영철 ,  신동남 ,  고동준

기계저널

2015 .06

극저온 $CO_2$를 이용한 세정장치 개발

윤철남

발명특허

2001 .01

RF 플라즈마 전력 전송 기술

이상원

인포메이션 디스플레이

2017 .01

Synthesis and Properties of Modified Nylon 4 and Nylon 4,6 ( K )

박종구 ,  한성욱 ,  김승현 외 3명

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1996 .04

Planer Diode 타입과 Inductively Coupled Plasma 타입에 따른 RF 플라즈마 처리에 의한 나일론섬유 표면의 Si 제거 효과

신중욱 ,  정탁 ,  김상식

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2006 .04

Nylon 수지

조승현 ,  노덕수 ,  김석수

고분자 과학과 기술

1993 .09

Nylon 4와 Nylon 4/6 공중합체의 열적특성 및 생분해성 연구

박완우 ,  이종윤 ,  김봉연 외 2명

폴리머

2017 .07

건식세정에 의한 Si 표면의 금속불순물 제거에 관한 연구

박웅 ,  이종무 ,  안태항 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1997 .01

Manufacture of Nylon -66

임무산 ,  이해운

고분자 과학과 기술

1993 .09

초음파 세정 및 건조기술

이강원 ,  윤의중 ,  김철호 외 2명

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

UN-ozone을 이용한 실리콘 표면 세정 효과의 연구

이경우 ,  조용범 ,  천희곤 외 6명

대한전자공학회 학술대회

1994 .01

저온 플라즈머를 이용한 섬유고분자재료의 표면개질

모상영

한국섬유공학회지

1983 .01

대기압 플라즈마를 이용한 반도체/디스플레이 부품의 세정기술

조중희

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2004 .01

Synthesis and Properties of Novel Polyimide-Nylon 6 and Nylon6-h-Polymide-h-Nylon 6 Copolymers

배유리

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2000 .04

마이크로버블을 이용한 세정장치 개발 및 세정성능 강화

전종선 ,  추주영 ,  이상헌 외 3명

한국방사성폐기물학회 학술대회

2012 .01

반도체 및 평판 디스플레이 산업에서의 진공 챔버 건식 세정을 위한 원격 플라즈마 생성 장치

이한용 ,  손정훈 ,  장보은 외 3명

전력전자학회 학술대회 논문집

2017 .07

리모트 수소 플라즈마를 이용한 Si 기판 위의 Cu 불순물 제거

이종무 ,  전형탁 ,  박명구 외 1명

한국재료학회지

1996 .01